协微工艺废气处理设备技术路线
协微工艺废气处理设备技术路线
发布日期：2021-03-31 16:45
第一代纯水洗(NSOW)工艺废气处理设备只能处理水溶性气体，但无法处理其他类型工艺气体。
第二代干式吸附(NSOD)工艺废气设备主要应用于半导体离子注入工艺，电热水洗(NSHW)可处理除PFC气体外的大部分工艺气体。
第三代燃气式(NSBW)工艺废气处理设备可处理部分PFC气体，同时天然气在燃烧过程中本身会附加产生SO2、CO、CO2对环保有害的气体。天然气在某些地区价格昂贵。
第四代等离子体(NSPW)工艺废气处理设备等离子体火焰温度大于3000℃，可完美高效处理PFC气体。
第五代无水等离子体(NPCR1000)尾气处理设备顺应环保越来越严格的要求，可实现无废水，无腐蚀，无NOx。
协微环境致力于研发和生产符合绿色环保要求的先进工艺废气处理设备，我们提供全工艺系列的尾气处理设备，协微产品型号如下所示：
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