助力华瑞微第三代化合物半导体生产线项目—协微环境工艺废气处理设备顺利交付
助力华瑞微第三代化合物半导体生产线项目—协微环境工艺废气处理设备顺利交付
发布日期：2022-01-17 11:05
华瑞微是一家专注于功率器件研发设计、生产和销售的高科技企业，已经研发成功且量产的产品包括高压VDMOS、低压Trench MOS、超结MOS和SGT MOS，同时正在开展第三代半导体功率器件的研发工作。其第三代化合物半导体生产线项目坐落于安徽省滁州市，主要承担第三代化合物半导体器件的研发及产业化，建设SiC MOSFET生产线。
碳化硅是第三代半导体的核心材料之一，具有更宽的禁带宽度、更高的击穿电场以及更高的热导率等性能优势，主要应用于5G基站、新能源汽车、工业电源等高端领域。该项目的建成投产将助力国内高端功率器件持续健康发展。
2021年10月26日，协微环境顺利交付尾气处理设备，助力华瑞微第三代化合物半导体生产线项目。
在半导体制造企业中，废气处理是一个不可或缺的环节。未经过工艺废气处理设备治理的废气排放将会造成环境的污染，同时会对先进半导体的制程造成很大的影响。倡导绿色环保理念，助力半导体行业绿色生产，协微环境融合多年行业实际应用经验，持续创新突破，致力为客户提供更安全、稳定的工艺废气处理方案。
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