普发真空泵 - Pfeiffer Vacuum Pump
Pfeiffer Vacuum为世界知名真空技术和泄漏检测解决方案的德国制造商，已成立130余年。节能干式多级罗茨工艺泵，适用于半导体和真空镀膜应用。
主要性能：
- 得益于多级罗茨泵技术，高效电机以及电加热器的限量使用而实现高能效
- 工作温度范围宽，防止泵的前驱体发生爆裂或可冷凝物沉积
- 完全耐腐蚀材料，提高了使用寿命
- 高平均无故障时间，低购置成本
- 极强的颗粒耐受性，提高工具的正常运行时间
- 监控功能扩展，能够更好控制泵的状态（水传感器、震动箱）
- 集成热N2喷射可防止排气堵塞
- 符合IP33、SemiS2和UL标准