主要特性：等离子体水洗式尾气处理器，通过等离子电弧产生的3000℃高温将易燃、有毒和全氟化物气体进行处理的系统低功耗，性能强悍优秀的全氟化物气体处理能力处理效率高配件不易损防腐蚀设备轻松上手，自动运行系列：NSPW600,NSPW1.5K-S,NSPW4K适用工艺：Etch/CVD/Diffusion等适用气体：气体举例硅化合物SiH4,SiH2Cl2,TEOS…燃烧气体H2,NH3…水溶性气体C