主要特性：电加热水洗式尾气处理器适用于Semi/PV/FPD/LED等不同额环境
稳定的操作系统
高温筒形加热腔
易保养及维护作业
E.P系统能过滤超过99%的生成物
特殊的电力系统设计
极低的运行成本
系列：
NSHW600,NSHW1.5K,NSHW3K
适用气体：
气体
举例
硅化合物
SiH4,SiH2Cl2,TEOS…
燃烧气体
H2,NH3,CH4…
水溶性气体
Cl2,F2,HCl,NH3…
有毒气体
PH3,BCl3…
全氟化
NF3…