主要特性：干式吸附式尾气处理器，此设备通过吸附剂化学反应后将气体进行过滤
完美的特殊气体解决方案
低运行成本
简单的维护及更换吸附桶
运行稳定
废水0排放
自动切换By-pass系统
系列：
NSOD 50 Single/Dual,NSOD 200 Single/Dual
适用气体：
气体
举例
特殊气体
BCl3,HCl,Cl2,HF,HBr,F2,CLF3,NH3,PH3,AsH3,TMA,SiH4……